國家智慧財產權局資訊顯示，杭州富芯半導體有限公司取得一項名為“雙束系統的樣品承載臺”的專利，授權公告號CN224537050U，申請日期為2025年7月窗簾。
專利摘要顯示，本實用新型涉及一種雙束系統的樣品承載臺，涉及半導體制備技術領域，該雙束系統的樣品承載臺具有第一承載部和限位結構，第一承載部用於承載樣品，限位結構用於對樣品進行限位窗簾。第一承載部具有第一承載面以及第一平面，第一承載面與第一平面之間具有第一夾角。由於樣品在進行處理時會置於第一承載面上，而該第一夾角與離子束轟擊角互補，此時不用對承載臺進行旋轉，就可以使雙束系統中的離子束垂直打到樣品的取樣面，之後設定限位結構的側壁與離子束的轟擊方向之間形成第二夾角，該第二夾角為0度‑90度，使得離子束的轟擊方向與取樣面之間不垂直，從而讓離子束不能直接到達取樣面內的溝槽的底部，進而避免了窗簾效應，提高了檢測結果的準確性。
天眼查資料顯示，杭州富芯半導體有限公司，成立於2019年，位於杭州市，是一家以從事批發業為主的企業窗簾。企業註冊資本945000萬人民幣。透過天眼查大資料分析，杭州富芯半導體有限公司參與招投標專案36次，財產線索方面有商標資訊15條，專利資訊380條，此外企業還擁有行政許可28個。
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來源窗簾：市場資訊
