國家智慧財產權局資訊顯示，中微半導體裝置（上海）股份有限公司申請一項名為“一種射頻功率供應系統”的專利，公開號CN121879506A，申請日期為2025年12月快速。
專利摘要顯示，一種射頻功率供應系統，其中射頻電源內建一個輸出電壓電流感測器，一射頻電源控制器接收電壓電流感測器的訊號並輸出頻率控制訊號，使得射頻電源輸出具有可變輸出頻率的射頻功率；匹配器中包括匹配電路和匹配器控制器，所述匹配電路中包括至少一個可變阻抗元件；射頻電源用於輸出脈衝式射頻功率，所述脈衝式射頻功率在多個脈衝輸出階段間切換，每個脈衝輸出階段中從輸出射頻功率穩定的ts時刻到t1為基本匹配段，在基本匹配段中的輸出頻率持續變化，且可變阻抗元件持續變化，快速達到基本匹配狀態；從t1到t2為精確匹配段，在精確匹配段中所述輸出頻率停止變化，所述可變阻抗元件持續變化最終達到精確匹配狀態快速。
天眼查資料顯示，中微半導體裝置（上海）股份有限公司，成立於2004年，位於上海市，是一家以從事專用裝置製造業為主的企業快速。企業註冊資本62614.5307萬人民幣。透過天眼查大資料分析，中微半導體裝置（上海）股份有限公司共對外投資了28家企業，參與招投標專案78次，財產線索方面有商標資訊84條，專利資訊1667條，此外企業還擁有行政許可88個。
成都英傑晨暉科技有限公司，成立於2023年，位於成都市，是一家以從事專用裝置製造業為主的企業快速。企業註冊資本19111.7639萬人民幣。透過天眼查大資料分析，成都英傑晨暉科技有限公司參與招投標專案5次，專利資訊19條，此外企業還擁有行政許可3個。
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來源快速：市場資訊
